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IBC電池超高的轉(zhuǎn)換效率表現(xiàn)，吸引了大批的研究機(jī)構(gòu)和太陽能企業(yè)，從新電池結(jié)構(gòu)、新鈍化技術(shù)、摻雜技術(shù)、金屬化工藝和封裝工藝等方面，作出了大量的實(shí)驗(yàn)室研究成果和量產(chǎn)探索成果。IBC電池量產(chǎn)工藝的關(guān)鍵問題，是如何低成本的在電池背面制備出呈叉指狀間隔排列的P區(qū)和N區(qū)，以及在其上面分別形成金屬化接觸和柵線。SunPower及后來者，曾嘗試過掩模光刻、離子注入、爐管擴(kuò)散、CVD原位摻雜、激光摻雜等不同的設(shè)備和工藝，來制備IBC電池背面P區(qū)和N區(qū)。

隨著設(shè)備成本的下降和工藝的成熟，IBC電池慢慢形成了三大工藝路線：1）以SunPower為代表的經(jīng)典IBC電池工藝；2）以ISFH為代表的POLO-IBC電池工藝；由于POLO-IBC工藝復(fù)雜，業(yè)內(nèi)更看好低成本的同源技術(shù)TBC電池工藝（TOPCon-IBC）；3）以Kaneka為代表的HBC電池工藝（IBC-SHJ）。見下圖：

IBC電池轉(zhuǎn)換效率的進(jìn)化


（1）經(jīng)典IBC電池工藝特點(diǎn)：
掩模和爐管擴(kuò)散制備背面PN區(qū)
P區(qū)N區(qū)隔離，分別跟金屬電極接觸
單面絲網(wǎng)印刷，無主柵或多主柵
兼容部分PERC工序
高溫制程，設(shè)備及工藝成熟、成本低
量產(chǎn)轉(zhuǎn)換效率23.5%-24.5%

由于主流PERC電池轉(zhuǎn)換效率已到23%，TOPCon電池和HJT電池也能輕松達(dá)到24.5%轉(zhuǎn)換效率，經(jīng)典IBC電池獲取的效率溢價(jià)，難以覆蓋增加的成本，該工藝路線慢慢變得沒有競爭力，業(yè)內(nèi)已將目光投向更有前景的TBC電池和HBC電池技術(shù)。

（2）TBC電池工藝特點(diǎn)：
掩模和爐管擴(kuò)散制備背面PN區(qū)，或掩模和CVD原位摻雜制備背面PN區(qū)
PN區(qū)與基區(qū)之間沉積一層超薄隧穿氧化層
P區(qū)N區(qū)隔離，分別跟金屬電極接觸
單面絲網(wǎng)印刷，無主柵或多主柵
兼容部分TOPCon工序
高溫制程，工藝接近成熟、成本低
量產(chǎn)轉(zhuǎn)換效率24.5%-25.5%

由于TOPCon電池工藝已成熟，吸收了TOPCon電池關(guān)鍵技術(shù)工藝的TBC電池，成為了性價(jià)比最高的IBC電池工藝路線。SunPower和國內(nèi)嘗試量產(chǎn)IBC電池的企業(yè)，紛紛向該技術(shù)路線轉(zhuǎn)型。

（3）HBC電池工藝特點(diǎn)：
掩模和CVD原位摻雜制備背面PN區(qū)
電池正面沉積本征非晶硅鈍化層
PN區(qū)與基區(qū)之間沉積本征非晶硅鈍化層
PN區(qū)與金屬電極之間沉積TCO層
單面絲網(wǎng)印刷，無主柵或多主柵
兼容HJT設(shè)備和工藝
低溫制程，工藝接近成熟、成本高
量產(chǎn)轉(zhuǎn)換效率25%-26.5%

吸收了非晶硅鈍化技術(shù)的HBC電池，開路電壓高達(dá)740mV，轉(zhuǎn)換效率最高達(dá)到26.63%，成為新一代最有發(fā)展?jié)摿Φ木Ч桦姵毓に嚶肪€。 

原標(biāo)題：IBC電池技術(shù)及量產(chǎn)工藝演進(jìn)