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摘要：在太陽(yáng)能硅片切割過(guò)程中，常常會(huì)出現(xiàn)晶棒切斜的情況，切斜會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)生厚度偏差片、鋸痕不合格片或TTV超差片，從而影響硅片合格率。本文主要對(duì)晶棒切斜的原因進(jìn)行了分析，以降低切斜情況的發(fā)生，提高硅片合格率。

1 引言

現(xiàn)代光伏行業(yè)切割硅片的設(shè)備是線鋸，它的工作核心是在漿料配合下用于完成工作的鋼線。硅片切割過(guò)程是由鋼線和砂漿共同完成的。線網(wǎng)呈1000條相互平行的纏繞在導(dǎo)線輪上形成一個(gè)水平的平面。馬達(dá)帶動(dòng)線導(dǎo)線輪使整個(gè)切割線網(wǎng)高速旋轉(zhuǎn)。

硅塊被固定于工作臺(tái)上，每次可以切割4—8塊。工作臺(tái)垂直通過(guò)運(yùn)動(dòng)的鋼線組成的線網(wǎng)，使硅塊被切割成硅片。

鋼線通過(guò)切割室內(nèi)的導(dǎo)輪，在導(dǎo)輪的溝槽內(nèi)纏繞成平行的線網(wǎng)，電機(jī)驅(qū)動(dòng)導(dǎo)輪轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)鋼線高速轉(zhuǎn)動(dòng)。此過(guò)程中，砂漿會(huì)通過(guò)漿料嘴流到線網(wǎng)上面，由于砂漿具有一定的粘度和懸浮性，使得砂漿中的碳化硅顆粒包裹在鋼線表面，伴隨著鋼線的運(yùn)行，與硅塊產(chǎn)生摩擦起到切割作用。

2 晶棒切斜

正常情況下在切割過(guò)程中，導(dǎo)輪槽內(nèi)高速轉(zhuǎn)動(dòng)的鋼線會(huì)保持互相平行且鋼線間距相同，若鋼線受力的作用發(fā)生位錯(cuò)，擺動(dòng)異常，鋼線間距不均勻，則該位置的晶棒會(huì)出現(xiàn)切斜。切斜導(dǎo)致產(chǎn)生大量厚度偏差片、鋸痕不合格片或TTV超差片，硅片本身厚度有一定的標(biāo)準(zhǔn)浮動(dòng)范圍，一般來(lái)說(shuō)對(duì)于厚度為180μm的硅片，其偏差范圍為±20μm，超過(guò)此范圍則成為薄厚片,薄厚片的產(chǎn)生會(huì)影響硅片的合格率及電池片的生產(chǎn)工藝。