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2月5日，正值正月十五元宵佳節(jié)，寶企深圳市大族光伏裝備有限公司（以下簡稱“大族光伏”）迎來了2023年度新春首批設(shè)備PECVD發(fā)機(jī)，開啟了2023年極致奮進(jìn)、大展宏“兔”的新征程。

大族光伏系上市公司——大族激光控股子公司，是專業(yè)提供光伏行業(yè)高效成套裝備的設(shè)備制造商。大族光伏聚焦高效太陽電池端裝備環(huán)節(jié)，在摻雜、薄膜沉積、激光加工等核心工序不斷突破，為鈣鈦礦電池、TOPCon電池、HJT電池及組件客戶提供更高效的解決方案和完全自主知識產(chǎn)權(quán)的高端精品裝備，促進(jìn)行業(yè)不斷提質(zhì)增效。

據(jù)悉，PECVD即等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備，是薄膜沉積設(shè)備的一種，而薄膜沉積設(shè)備是集成電路前道生產(chǎn)工藝中的核心設(shè)備之一。大族光伏擁有中國第一代光伏用擴(kuò)散爐和管式PECVD的研發(fā)隊伍，系國內(nèi)最早涉足光伏產(chǎn)業(yè)的設(shè)備研發(fā)技術(shù)團(tuán)隊，核心技術(shù)成員多具有15年~30年的半導(dǎo)體及光伏設(shè)備行業(yè)經(jīng)驗。目前，大族光伏擁有激光摻雜機(jī)、低壓擴(kuò)散/氧化退火爐、低壓硼擴(kuò)散爐、絲網(wǎng)印刷整線設(shè)備、PECVD等核心產(chǎn)品。

此前，大族激光在投資者互動平臺表示，旗下PECVD、擴(kuò)散爐、退火爐等設(shè)備已經(jīng)中標(biāo)行業(yè)頭部客戶批量訂單。

原標(biāo)題：大族光伏兔年首批設(shè)備PECVD發(fā)機(jī)