夏秋之交,位于安徽省阜陽市潁東化工園區(qū)的安徽中科昊海氣體科技有限公司一角,一輛氣罐車正??砍錃?,幾天后,這輛車將載著5000立方米氖氣,運往廣東一家電子廠。
作為一家涵蓋高純稀有氣體、高純氫氣、液氫等產(chǎn)品的綜合性氣體公司,看中昊源化工豐富的尾氣資源,中科昊海于2019年在潁東“安家”。“我們依托中科院理化所的技術(shù)支撐,斥資上馬高純特種電子氣體項目和高端氫能項目,填補了安徽生產(chǎn)高純度稀有氣體企業(yè)的空白。”企業(yè)總經(jīng)理張峰介紹。
經(jīng)過緊張籌備建設(shè),中科昊海一、二期相繼建成投產(chǎn)。其中,一期為高純特種電子氣體項目,主要生產(chǎn)氖、氦、氪、氙等高純特種電子氣體,應(yīng)用于電子芯片制造、航空航天、軍工等領(lǐng)域,有效緩解了我國目前高端電子特氣嚴重依賴國際進口的局面。二期為高純氫和液氫等高端綠色氫能項目,配套氫液化、液氫儲運及加氫站的全套解決方案,可實現(xiàn)年產(chǎn)高純氫640萬立方米、液氫500噸。
就在兩個多月前,該企業(yè)生產(chǎn)的液氫得到專家組測試驗證——今年6月中旬,來自上??萍即髮W(xué)、中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所、中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院的多位制冷與低溫工程領(lǐng)域?qū)<引R聚阜陽,對由北京中科富海低溫科技有限公司與中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所聯(lián)合研發(fā)、設(shè)計、制造,安徽中科昊海氣體科技有限公司應(yīng)用的1.51PD氫液化裝置進行現(xiàn)場性能測試驗證。對液化率、產(chǎn)品仲氫含量、單位液化能耗等測試后,專家組形成結(jié)論,認為企業(yè)氫液化裝置性能指標等滿足考核要求。
高純氫是一種終極清潔能源,廣泛應(yīng)用于氫燃料電池車、加氫站、高端電子制造等領(lǐng)域。其中,液氫可大大降低氫能源儲存和運輸成本,推動傳統(tǒng)化石能源向清潔能源轉(zhuǎn)變,可作為航天火箭發(fā)射燃料應(yīng)用。去年12月27日,中科昊海1.5噸/天氫液化裝置開車成功,順利產(chǎn)出純度達99.9999%的液氫,高端液氫實現(xiàn)了“阜陽造”。而此次測試驗證,標志著中科昊海液氫生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品都達到了相關(guān)水平,為下一步在航空航天領(lǐng)域應(yīng)用夯實了基礎(chǔ)。
以高端技術(shù)與設(shè)備為依托,短短幾年,中科昊海的優(yōu)質(zhì)氣體產(chǎn)品實現(xiàn)產(chǎn)銷兩旺。截至目前,企業(yè)氣氫產(chǎn)量躋身全省前三,銷往省內(nèi)合肥、蕪湖、蚌埠等地。氪、氙等高純特種電子氣體作為光刻機的保護器,供應(yīng)臺積電、中芯國際等知名企業(yè)。
尤為值得一提的是,在廠區(qū)鮮見工人忙碌的身影。張峰介紹,企業(yè)生產(chǎn)自動化程度較高,各生產(chǎn)環(huán)節(jié)信息會定時傳送到中控室進行分析,通過網(wǎng)絡(luò)即可調(diào)度生產(chǎn)。
中科昊海廠區(qū)西側(cè),更長遠的謀劃在這里“起筆”——投資5億元的三期集成電路和光電材料電子特氣項目,將于9月份開工建設(shè),計劃明年6月份建成投產(chǎn)。項目利用昊源化工尾氣資源,采用合成、低溫分離、提純等技術(shù),生產(chǎn)電子級高純一氧化碳、電子級高純二氧化碳、電子級高純氨及電子級混配氣,進一步延伸產(chǎn)業(yè)鏈條。
“三期產(chǎn)品將廣泛應(yīng)用于集成電路光刻機配套、OLED顯示面板制造工藝、集成電路制造中的清洗工藝和蝕刻工藝等,市場前景非常廣闊。”張峰說。
原標題:阜陽潁東區(qū):為飛天提供阜陽“氫動力”