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9月29日，深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“捷佳偉創(chuàng)”）發(fā)布公告稱，擬向不超過(guò)35名（含）符合中國(guó)證監(jiān)會(huì)規(guī)定條件的特定投資者發(fā)行股票。

6.5億元，實(shí)施先進(jìn)半導(dǎo)體裝備項(xiàng)目

公告顯示，捷佳偉創(chuàng)本次擬募集資金總額不超過(guò)25.03億元（含本數(shù)），扣除發(fā)行費(fèi)用后擬將全部用于超高效太陽(yáng)能(4.660, 0.34, 7.87%)電池裝備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、泛半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、二合一透明導(dǎo)電膜設(shè)備（PAR）產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、先進(jìn)半導(dǎo)體裝備（半導(dǎo)體清洗設(shè)備及爐管類設(shè)備）研發(fā)項(xiàng)目、以及補(bǔ)充流動(dòng)資金項(xiàng)目。

其中，先進(jìn)半導(dǎo)體裝備（半導(dǎo)體清洗設(shè)備及爐管類設(shè)備）研發(fā)項(xiàng)目計(jì)劃投資約2.5億元，擬在深圳市坪山區(qū)實(shí)施Cassette-Less刻蝕設(shè)備和單晶圓清洗設(shè)備技術(shù)的改進(jìn)與研發(fā)，立式爐管長(zhǎng)壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備、立式爐管低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備、立式爐管低壓原子氣相沉積設(shè)備以及立式爐管HK ALO/HFO2工藝設(shè)備技術(shù)的改進(jìn)與研發(fā)。

通過(guò)該項(xiàng)目的建設(shè)，捷佳偉創(chuàng)將加大對(duì)國(guó)際先進(jìn)工藝的研究、對(duì)半導(dǎo)體先進(jìn)設(shè)備的測(cè)試、加快全覆蓋率的設(shè)備產(chǎn)出，實(shí)現(xiàn)技術(shù)與產(chǎn)業(yè)升級(jí)。

第一，改進(jìn)半導(dǎo)體氣相沉積設(shè)備技術(shù)。公司將進(jìn)一步加快28納米到0.35微米集成電路設(shè)備的驗(yàn)證與產(chǎn)業(yè)化以及未來(lái)納米設(shè)備的核心技術(shù)研發(fā)，大大增強(qiáng)先進(jìn)集成電路、先進(jìn)封裝及第三代半導(dǎo)體工藝裝備競(jìng)爭(zhēng)能力；同時(shí)也將提升先進(jìn)精密模組及元器件的生產(chǎn)能力，自主研發(fā)立式氣相沉積設(shè)備。

第二，在濕法清洗設(shè)備領(lǐng)域，完成Cassette-less批次式清洗工藝設(shè)備、單晶圓腔體清洗設(shè)備、涂布顯影的單晶圓設(shè)備，長(zhǎng)壓及低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備與低壓原子氣相沉積設(shè)備等世界領(lǐng)先技術(shù)的研發(fā)并投產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)濕法清洗設(shè)備的規(guī)模化生產(chǎn)，構(gòu)建層次豐富、產(chǎn)能高效的半導(dǎo)體濕法及氣相沉積設(shè)備供給線。

公告指出，捷佳偉創(chuàng)計(jì)劃提高在半導(dǎo)體工藝設(shè)備業(yè)務(wù)的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額，因此亟需加強(qiáng)對(duì)濕法及氣相沉積工藝設(shè)備的研發(fā)力度、加大研發(fā)投入，抓住技術(shù)更新、產(chǎn)業(yè)工藝和產(chǎn)能升級(jí)等市場(chǎng)機(jī)遇。而該項(xiàng)目的建設(shè)有利于鞏固公司在濕法及氣相沉積工藝產(chǎn)品的領(lǐng)先地位，使公司快速進(jìn)入國(guó)產(chǎn)集成電路工藝裝備的國(guó)際化隊(duì)伍。

拓展業(yè)務(wù)布局，助力半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化

資料顯示，捷佳偉創(chuàng)成立于2007年，是一家高速發(fā)展的新能源裝備研發(fā)制造企業(yè)，主要為太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)鏈中的中間環(huán)節(jié)晶硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)提供工藝流程中的關(guān)鍵設(shè)備。

自成立以來(lái)，該公司已為全球200多家光伏電池生產(chǎn)企業(yè)，近1000條電池生產(chǎn)線提供設(shè)備和服務(wù)，其中各類工藝設(shè)備的市場(chǎng)占有率均超過(guò)50%，成為全球領(lǐng)先的晶體硅太陽(yáng)能電池設(shè)備供應(yīng)商。

目前，捷佳偉創(chuàng)已經(jīng)積累了一批高端客戶和合作伙伴，且基本為行業(yè)內(nèi)的重要企業(yè)，如阿特斯、天合光能(16.620, 0.64, 4.01%)、隆基股份(75.710, 0.62, 0.83%)、晶科能源等。

不過(guò)近年來(lái)，為積極響應(yīng)國(guó)家政策，助力半導(dǎo)體行業(yè)國(guó)產(chǎn)化，捷佳偉創(chuàng)開(kāi)始逐漸涉足半導(dǎo)體領(lǐng)域。

2019年，為拓展公司戰(zhàn)略規(guī)劃和產(chǎn)業(yè)布局，捷佳偉創(chuàng)開(kāi)始投身于國(guó)產(chǎn)集成電路工藝設(shè)備事業(yè)，并啟動(dòng)了濕法工藝裝備研發(fā)。

2020年，該公司再次成立獨(dú)立的半導(dǎo)體研發(fā)事業(yè)部，立足設(shè)備行業(yè)，切入半導(dǎo)體工藝設(shè)備，致力打造高端半導(dǎo)體設(shè)備，制造開(kāi)發(fā)平臺(tái)，目前該公司已經(jīng)完成Dryer平臺(tái)的開(kāi)發(fā)、部分槽體的開(kāi)發(fā)和部分模組的開(kāi)發(fā)，供應(yīng)鏈的體系逐步開(kāi)始建立。

目前，捷佳偉創(chuàng)的主營(yíng)業(yè)務(wù)和產(chǎn)品包括PECVD設(shè)備、擴(kuò)散爐、制絨設(shè)備、刻蝕設(shè)備、清洗設(shè)備、絲網(wǎng)印刷、自動(dòng)化配套設(shè)備等晶硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝流程中的主要設(shè)備的研發(fā)、制造和銷售以及半導(dǎo)體清洗設(shè)備。

捷佳偉創(chuàng)表示，先進(jìn)半導(dǎo)體裝備研發(fā)項(xiàng)目將利用現(xiàn)有研發(fā)體系與資源，開(kāi)展半導(dǎo)體刻蝕清洗設(shè)備、半導(dǎo)體晶圓涂布顯影設(shè)備、氣相沉積設(shè)備等高端工藝設(shè)備研發(fā)創(chuàng)新, 從而擴(kuò)展和建立半導(dǎo)體濕法和氣相沉積設(shè)備前后道工藝的產(chǎn)品線及工藝整合開(kāi)發(fā)服務(wù), 實(shí)現(xiàn)公司在半導(dǎo)體事業(yè)拓展的戰(zhàn)略規(guī)劃與產(chǎn)業(yè)布局。