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“在頭發(fā)絲千分之一面積的地方繪畫”是對(duì)微納米制造最為形象的描述之一，而光譜檢測(cè)則是在千分之一的頭發(fā)絲上找信息、測(cè)元素、挑毛病。這樣的技術(shù)在過(guò)去被廣泛應(yīng)用于光伏產(chǎn)業(yè)的質(zhì)量檢測(cè)、珠寶的鑒定、LED在線監(jiān)測(cè)、食品安全檢測(cè)和大氣二氧化硫檢測(cè)等多個(gè)領(lǐng)域。近年來(lái)，隨著微納技術(shù)的發(fā)展，其又作為質(zhì)檢手段出現(xiàn)在微納制造的各個(gè)環(huán)節(jié)。

復(fù)享光學(xué)（以下簡(jiǎn)稱“復(fù)享”）即是一家致力于用光譜技術(shù)為科研創(chuàng)新市場(chǎng)與集成電路設(shè)備市場(chǎng)提供光譜檢測(cè)分析儀器和專業(yè)解決方案的企業(yè)，成立于2011年，擁有多項(xiàng)自主可控的知識(shí)產(chǎn)權(quán)，著力于光子學(xué)與人工智能的融合，系一家以算法驅(qū)動(dòng)的光譜硬科技公司。

從實(shí)驗(yàn)室走出硬科技企業(yè)

2009年還在復(fù)旦讀博士的殷海瑋，拉著兩個(gè)學(xué)弟在學(xué)校實(shí)驗(yàn)室里做出了第一款原型產(chǎn)品——便攜式光譜儀。彼時(shí)，他們的目標(biāo)還只是研發(fā)出自己實(shí)驗(yàn)需要但市面尚無(wú)銷售的儀器；后來(lái)這個(gè)目標(biāo)逐漸從自身實(shí)驗(yàn)擴(kuò)大到滿足更多光學(xué)研究人員的實(shí)驗(yàn)需求，殷?，|的創(chuàng)業(yè)之路也隨之開(kāi)啟。

他把自己歸為典型的大學(xué)生創(chuàng)業(yè)者，復(fù)享也是從是實(shí)驗(yàn)室走出來(lái)的企業(yè)。2012年，初創(chuàng)的公司從上海創(chuàng)業(yè)接力基金處拿到了550萬(wàn)元風(fēng)險(xiǎn)投資，該基金為上海大學(xué)生科技創(chuàng)業(yè)基金會(huì)下屬機(jī)構(gòu)。“550萬(wàn)元放在今天看可能不算什么，但在當(dāng)時(shí)確實(shí)是大學(xué)生能拿到的一筆巨款了。”殷?，|回憶道。

隨后的幾年里，復(fù)享開(kāi)啟了商業(yè)化進(jìn)程——聚焦光譜檢測(cè)與微納制造兩大領(lǐng)域，公司的核心技術(shù)則應(yīng)用于光譜儀、角分辨光譜、共焦光譜等儀器的研發(fā)生產(chǎn)。雖然商業(yè)化在推進(jìn)，但最初的幾年里復(fù)享的業(yè)務(wù)仍集中在學(xué)術(shù)圈，客戶多為院校實(shí)驗(yàn)室和前沿領(lǐng)域的科研人士。

近年來(lái)，微納制造的快速發(fā)展和芯片半導(dǎo)體“卡脖子”問(wèn)題，讓復(fù)享看到了更多向工業(yè)賽道轉(zhuǎn)型的機(jī)會(huì)，以及光譜技術(shù)在半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)可發(fā)揮的能量。

“這十年的積累讓我們逐漸知道光譜檢測(cè)還可以在微納制造工業(yè)發(fā)揮哪些作用，尤其從三年前半導(dǎo)體自主可控變得非常迫切后，我們的技術(shù)與服務(wù)也進(jìn)一步向微納領(lǐng)域光電子、半導(dǎo)體器件、集成電路領(lǐng)域的客戶傾斜。”他說(shuō)道。

跳出學(xué)術(shù)圈糾偏半導(dǎo)體制造

殷海瑋向《每日經(jīng)濟(jì)新聞》記者介紹，芯片半導(dǎo)體制造是當(dāng)下微納技術(shù)最重要的應(yīng)用領(lǐng)域之一。與此同時(shí)，這也是一個(gè)容錯(cuò)率極低的行業(yè)。“半導(dǎo)體的產(chǎn)業(yè)鏈很長(zhǎng)、細(xì)分環(huán)節(jié)步驟眾多，而每一個(gè)步驟里哪怕是0.1%的誤差都可能對(duì)成品的良品率造成致命的打擊，我們要做的就是運(yùn)用頻率、動(dòng)量、相位、空間分辨這些深度光譜技術(shù)以及人工智能解決方案去完成半導(dǎo)體制程中的檢測(cè)，糾正這0.1%的誤差。”

據(jù)介紹，目前復(fù)享已與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中光刻、刻蝕、鍍膜、量測(cè)、CMP等環(huán)節(jié)中的多個(gè)頭部設(shè)備企業(yè)開(kāi)展了業(yè)務(wù)合作，邁出進(jìn)口替代的關(guān)鍵一步，同時(shí)也是能為產(chǎn)業(yè)提供高端光譜模組的供應(yīng)商。

殷?，|表示，目前公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域的業(yè)務(wù)分為兩大板塊——一方面是向“自主可控”賦能，“卡脖子”問(wèn)題出現(xiàn)后，很多企業(yè)要么是買不到新的設(shè)備，要么是之前買的進(jìn)口設(shè)備得不到后續(xù)服務(wù)，他們要做的就是用光譜模組技術(shù)解決他們當(dāng)下一些痛點(diǎn)問(wèn)題；另一方面，則是幫助新興產(chǎn)業(yè)的企業(yè)解決效率、成本問(wèn)題。“比如AR虛擬現(xiàn)實(shí)眼鏡，很早之前大家就知道這個(gè)東西，但為什么還沒(méi)有消費(fèi)級(jí)的產(chǎn)品大面積出現(xiàn)，就是因?yàn)樗玫降墓庾有酒靸r(jià)非常高，我們的工作之一就是幫客戶把成本壓到電子消費(fèi)品的價(jià)格范圍內(nèi)，所以在這些新領(lǐng)域里要做的還非常多。”

據(jù)悉，復(fù)享已于近期完成了上億元B輪融資，資金將被主要用于人才擴(kuò)充、研發(fā)生產(chǎn)場(chǎng)地的擴(kuò)容、升級(jí)以及前沿技術(shù)布局。

微縮近極值后是光替代電？

除了用光譜檢測(cè)賦能微納制造外，殷?，|更期待的是參與“光取代電”的進(jìn)程。他認(rèn)為，我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)將經(jīng)歷發(fā)展的三大進(jìn)程：首先是解決當(dāng)下的“卡脖子”問(wèn)題，舉全國(guó)之力把核心生產(chǎn)工藝、軟硬件徹底國(guó)產(chǎn)化。

其次是在尺寸微縮逼近極限后，集成電路由2.5維結(jié)構(gòu)向三維堆疊結(jié)構(gòu)的升級(jí)，以及納米片、二維材料等新技術(shù)的出現(xiàn)與應(yīng)用，“這個(gè)過(guò)程至少還將持續(xù)10年，也是摩爾定律進(jìn)一步發(fā)展的空間”。

第三則是從電到光的變革。“作為計(jì)算的媒介和能量載體，光的特性遠(yuǎn)強(qiáng)于電流，比如光子間干擾作用低、大帶寬、超強(qiáng)的量子計(jì)算能力，等等。所以第三個(gè)進(jìn)程里我們會(huì)看到由集成電，到集成光電，最后到純粹的集成光。這三個(gè)進(jìn)程其實(shí)是同時(shí)發(fā)生的，但實(shí)現(xiàn)的順序有先后，當(dāng)務(wù)之急是解決信息產(chǎn)業(yè)安全問(wèn)題，其次再是把集成電路的28納米成熟工藝推進(jìn)到14~7納米先進(jìn)工藝，最后再逐步去推進(jìn)光、電的替代轉(zhuǎn)化。” 

原標(biāo)題：“自主可控”攻堅(jiān)時(shí)刻 復(fù)享光學(xué)用深度光譜技術(shù)賦能半導(dǎo)體制造