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5 運行效果

該工程運行幾年來，處理效果穩(wěn)定，各階段處理效果見表2。

從表2可以看出，該處理工藝對硅片清洗廢水處理效果較好，對廢水中COD、SS的去除率分別達到95.4%、96.2%，出水達到《電池工業(yè)污染物排放標準》(GB 30484—2013)中間接排放限值要求。該工程已經通過環(huán)保部門驗收。

6 工程投資及運行成本分析

該工程共投資1 306萬元，其中土建360萬元，設備投資940萬元，啟動調試污泥菌種費用6萬元。系統(tǒng)運行過程中，藥劑費為2.2元/m3，電費為0.5元/m3，人工費為0.3元/m3，維修費為0.1元/m3，污泥處理費為0.2元/m3，合計運行成本為3.3元/m3(不含設備折舊)。

7 結論

(1)采用混凝沉淀—UASB—A/O處理系統(tǒng)—二次沉淀工藝處理硅片清洗廢水，效果較好，出水水質穩(wěn)定，系統(tǒng)出水各項指標均達到《電池工業(yè)污染物排放標準》(GB 30484—2013)中的間接排放限值要求。

(2)硅片清洗廢水中懸浮物濃度較高，主要由碳化硅和硅粉等無機顆粒組成，在調節(jié)池需增加污泥清理設施，防止碳化硅和硅粉沉積造成調節(jié)池有效容積變小。

3)該工藝運行穩(wěn)定，運行成本為3.3元/m3(不含設備折舊)，是一種可靠的硅片清洗廢水處理工藝。