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2 使用導(dǎo)向條的弊端

在切割粘有導(dǎo)向條的晶棒過(guò)程中，不可避免會(huì)有部分切碎的導(dǎo)向條從硅塊表面掉落下來(lái)，落到機(jī)床切割室內(nèi)，可能導(dǎo)致的不良結(jié)果有：（1）導(dǎo)向條混入砂漿中，一方面容易堵塞熱交換器，砂漿流量達(dá)不到要求，影響切割質(zhì)量，同時(shí)會(huì)縮短電機(jī)使用壽命；另一方面碎導(dǎo)向條隨砂漿流動(dòng)，若被卷入線網(wǎng)中會(huì)造成跳線或晶棒切斜，產(chǎn)生厚度偏差片等不合格硅片；（2）切割結(jié)束，將晶棒從機(jī)床內(nèi)取出后，必須要將硅塊表面的導(dǎo)向條清理干凈，若有殘留的導(dǎo)向條掉落夾到硅片中間，在清洗過(guò)程中容易將硅片硌碎；（3）切割過(guò)程中，不可避免會(huì)有少量硅片掉到切割室過(guò)濾網(wǎng)上，此部分硅片要清洗干凈進(jìn)行回收處理，當(dāng)導(dǎo)向條掉落夾雜在碎片中時(shí)，需要人工分揀出來(lái)，無(wú)形中浪費(fèi)了大量人力和時(shí)間；（4）切割后的舊砂漿會(huì)經(jīng)過(guò)在線回收設(shè)備重新回收利用，其原理是通過(guò)一次離心機(jī)的離心作用將切割后舊砂漿中符合標(biāo)準(zhǔn)要求的碳化硅分離出來(lái)，將舊砂漿中無(wú)切割能力的小顆粒分離出去，得到一次重液，可繼續(xù)使用，再對(duì)一次離心產(chǎn)生的一次輕液進(jìn)行二次離心，把其中的細(xì)碎雜質(zhì)微粉去除，分離出的可回收使用的二次輕液。但當(dāng)砂漿中混有碎導(dǎo)向條時(shí)勢(shì)必會(huì)影響回收砂漿的質(zhì)量，進(jìn)而會(huì)導(dǎo)致切割質(zhì)量問(wèn)題。（5）由于粘接導(dǎo)向條需要使用環(huán)氧樹(shù)脂膠，在切割過(guò)程中由于碳化硅和硅塊之間的摩擦作用會(huì)產(chǎn)生大量的熱量使膠軟化，這樣當(dāng)鋼線經(jīng)過(guò)入刀面的膠層時(shí)，膠層會(huì)將鋼線上面攜帶的碳化硅掠下，鋼線直接與硅塊摩擦，容易發(fā)生斷線。

3 無(wú)導(dǎo)向條切割技術(shù)

無(wú)導(dǎo)向條切割技術(shù)，主要是指硅塊表面不再粘接導(dǎo)向條，但為避免產(chǎn)生入刀薄厚的問(wèn)題，需對(duì)粘接所用的托盤工裝及線鋸工序切割工藝進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。普通托盤的表面為一平面，托盤兩側(cè)厚度一致，采用無(wú)導(dǎo)向條技術(shù)時(shí)，需要托盤表面磨成一斜平面，托盤兩側(cè)厚度不一致，成一定角度，托盤兩側(cè)的厚度偏差值約為1.5mm。以HCT線鋸機(jī)床為例，如圖1所示為導(dǎo)輪C輪、D輪使用的傾斜托盤的側(cè)視圖，托盤的傾斜方向一致（A輪、B輪使用的傾斜托盤傾斜方向與圖示相反）。根據(jù)實(shí)際切割情況，鋼線的入線側(cè)首先經(jīng)過(guò)托盤厚度值較小的一側(cè)。以下圖1為例，4號(hào)棒在進(jìn)行切割時(shí)，鋼線首先經(jīng)過(guò)如圖1所示的右側(cè)，這樣鋼線切到硅塊中后就被固定在硅塊中，在進(jìn)行切割時(shí)不容易切斜，同時(shí)配合調(diào)整切割工藝，入刀時(shí)便不會(huì)再產(chǎn)生入刀薄厚片，保證了入刀點(diǎn)的厚度均勻一致。